建设单位(用人单位) 名称 |
江苏中科汉韵半导体有限公司年产碳化硅功率器件等分立半导体器件5000片项目 | ||||||
建设单位(用人单位) 地理位置 |
徐州市新沂 | 建设单位(用人单位)联系人 | 刘钦宝 | ||||
项目名称 | 江苏中科汉韵半导体有限公司年产碳化硅功率器件等分立半导体器件5000片项目职业病危害控制效果评价 | ||||||
项目简介 | 租赁生产车间、仓库和办公楼等建筑面积合计9558.15平方米,购买碳化硅衬底/外延、各种贵金属和特殊气体等原辅材料,购置等离子体化学气相淀积PCWD成膜机、物理气相淀积成膜机、溅射机离子注入机、干法刻蚀机、湿法刻蚀机、酸碱有机清洗机、活性化激活退火炉、步进式/接触式曝光机、涂胶显影机、线宽测试台、成品在线电学测试台、背面减薄机、划片机、CMP化学机械抛光机等主要生产设备,采用加工下料、清洗:光刻、刻蚀、镀膜和测试等全自动化装备的工艺流程,形成年产5000碳化硅功率器件等分立半导体器件项目。 | ||||||
项目组成员 | 樊玉江、祁勇、杜艳勤、朱艳秋、张晶 | ||||||
现场调查人员 | 杜艳勤、祁勇 | 调查时间 | 2021.3 | 建设单位(用人单位)陪同人员 | 刘钦宝 | ||
现场采样、检测人员 | 张晶、杜艳勤 | 现场采样、检测时间 | 2021.3.20-3.22 | 建设单位(用人单位)陪同人员 | 刘钦宝 | ||
现场调查、现场采样、现场检测的图像影像 | ![]() ![]() |
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建设项目(用人单位) 存在的职业病危害因素及检测结果 |
化学因素:氨、氮氧化物、氯化氢、氟化氢、氢氧化钾、过氧化氢、氯、硫酸、磷酸、氢氧化钠、异丙醇、丙酮、乙酸丁酯。 物理因素:噪声、高温。 |
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评价结论与建议 | (1)该建设项目正常生产过程中产生和存在的主要职业病危害因素有:氨、氮氧化物、氯化氢、氟化氢、氢氧化钾、过氧化氢、氯、硫酸、磷酸、氢氧化钠、异丙醇、丙酮、乙酸丁酯、噪声、工频电场等。 (2)根据《建设项目职业病危害风险分类管理目录(2021版)》(国卫办职健发[2021] 5号)和《国民经济行业分类》(GB/T4754-2017)对该建设项目的职业病危害风险类别进行判定,该建设项目属于电子元件及电子专用材料制造。该建设项目的职业病危害风险分类为“严重”的建设项目。 |
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技术审查专家组 评审意见 |
修改通过 |
江苏中科汉韵半导体有限公司年产碳化硅功率器件等分立半导体器件5000片项目职业病危害控制效果评价
- 发布日期:2021-11-11 浏览量: